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你知道芯片生產(chǎn)對潔凈室有哪些要求?

Release Time:2025.08.11 Read:100

芯片,作為電子設備的核心組件,通過集成大量晶體管實現(xiàn)計算、存儲、控制等功能,廣泛應用于現(xiàn)代社會的各個領域,包括但不限于工業(yè)與自動化領域、汽車電子領域、醫(yī)療健康領域等。眾所周知,芯片對其生產(chǎn)環(huán)境要求極為嚴格,所以芯片的生產(chǎn)環(huán)境一般是在潔凈室里,通過對潔凈室的空氣凈化、溫濕度管理、人員操作規(guī)范等方面進行嚴格管控,以確保芯片的穩(wěn)定性和成品率。下面德信致遠帶大家看看芯片生產(chǎn)對潔凈室到底有哪些要求:

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一、核心要求

潔凈室的潔凈度等級,芯片在潔凈室里生產(chǎn),首先要保證潔凈室達到一定的潔凈度要求,通常芯片的生產(chǎn)環(huán)境需達到ISO 5級(Class 100)級標準,也就是每立方米空氣中大于等于0.1微米的顆粒數(shù)不超過3520個。像光刻等關鍵區(qū)域甚至要求潔凈室的潔凈等級達到ISO 1級(Class 1),通過高效或者超高效過濾器,實現(xiàn)99.99%以上的微粒過濾。

 

潔凈室的溫濕度,芯片在潔凈室里生產(chǎn)時,溫濕度的控制也是非常重要的,因為在芯片生產(chǎn)過程中,如果潔凈室里溫度波動過大,就會影響光刻膠性能和設備精度;潔凈室里濕度如果過高,則容易導致腐蝕,濕度過低,則易產(chǎn)生靜電,對芯片有損傷。

 

二、基本要求

芯片生產(chǎn)的潔凈室,所需要的材料要選用不銹鋼、防靜電pvc等無塵材料,避免產(chǎn)塵或者化學揮發(fā),如防靜電pvc地板,離子風機,以此來消散靜電荷;此外,進入潔凈室的人員,需要穿戴無塵服、口罩、護目鏡等,經(jīng)風淋室除塵(風速約在20m/s,吹淋時間約在15秒)后進入,嚴禁攜帶化妝品、手機等污染物,且在潔凈室里工作,動作需緩慢以減少氣流擾動。

 

三、其他要求

可為潔凈室選配實時監(jiān)測顆粒數(shù)、溫濕度、壓差等傳感器,以此動態(tài)監(jiān)測潔凈室各項數(shù)據(jù),異常自動報警,保證潔凈室達到芯片生產(chǎn)所需各項要求。另外,還需給潔凈室定期更換過濾器,每日清潔潔凈室地面、墻面等。

 

總之,如果大家要做芯片生產(chǎn)用的潔凈室,一定不能馬虎,任何微小污染物都可能導致芯片有缺陷或不良,所以,要找專業(yè)潔凈室廠商進行規(guī)劃設計。

 

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